В результаті вивчення дисципліни формуються:
-здатність продемонструвати знання і розуміння основних фізичних процесів та явищ в напівпровідниках, діелектриках, а також магнітних, оптичних матеріалах для пристроїв мікро- та наносистемної техніки;
-здатність використовувати на практиці набуті знання щодо технології виготовлення мікро- та наноелектромеханічних систем;
- здатність аналізувати фізико-хімічні процеси, які протікають при виготовленні мікро- та наноелектромеханічних систем;
- вміння вибрати матеріал для виготовлення і обґрунтування фізичної структури,
- вміння удосконалювати технологічні процеси виготовлення та видозмінювати їх залежно від вимог до готової структури;

Пререквізити
Основи мікро- та нанотехнологій
Моделювання електронних компонентів та приладів
Технологічні основи електроніки
Кореквізити
Прилади на основі МОН
Наноструктури
Управління структурою і властивостями напівпровідникових матеріалів і приладів

вивченні загальних принципів та підходів до проблем технології виготовлення мікро- та наноелектромеханічних систем в галузі напівпровідникового виробництва для розв'язання задач розвитку сучасних нанотехнологій та їх застосування під час створення структур і приладів електроніки нового покоління

1. Асеев А.Л., Попов В.П., Володин В.П., Марютин В.Н. Перспективы применения структур кремний-на-изоляторе в микро-, наноэлектронике и микросистемной технике/ Мікро- та наносистемна техніка, 2002, №9
2. Наноматериалы и нанотехнологии. Алферов Ж.И., Асеев А.Л., Гапонов С.В., Копьев П.С., Панов В.И., Полторацкий Э.А., Сибельдин Н.Н., Сурис Р.А. / Мікро- та наносистемна техніка, 2003, №8.
3. Телец В.А., Никифоров А.Ю. Микроэлектронные преобразователи физических величин и компоненты датчиков – перспективная элементная база микросистемной техники / Мікро- та наносистемна техніка, 2001, №1.
4. Дружинін А.О., Когут І.Т., Ховерко Ю.М. Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки: монографія. – Львів: Вид. НУ “Львівська політехніка”. – 2013. – 233 с.
5. Ниткоподібні кристали кремнію і твердого розчину кремній-германій в мікро- та наноелектроніці: монографія / А.О. Дружинін, І.П. Островський, Ю.М. Ховерко, С.І. Нічкало.– Львів: Видавництво «Тріада плюс», 2016. – 264 с.
6. Наукова періодична література

Поточний контроль (20%), підсумковий контроль (80%)