Ви переглядаєте архівну версію офіційного сайту НУЛП (2005-2020р.р.). Актуальна версія: https://lpnu.ua

Вимірювання в нанотехнологіях

Спеціальність: Метрологія та вимірювальна техніка
Код дисципліни: 7.152.01.E.32
Кількість кредитів: 6
Кафедра: Інформаційно-вимірювальних технологій
Лектор: доцент Ришковський Олександр Павлович
Семестр: 1 семестр
Форма навчання: денна
Результати навчання:
• знати основні поняття що використовуються в нанотехнологіях, основні види наноматеріалів, особливості нанотехнологій,
• знати основні ефекти, що використовуються при побудові сенсорів нанометрового діапазону, включаючи МЕМС і НЕМС,
• знати принципи роботи і особливості використання актуаторів,
• принципи роботи атомного силового і атомного сканувального мікроскопів, принципи роботи інтерферометрично-оптичних засобів вимірювання в нанометровому діапазоні.
• вміти самостійно аналізувати необхідність використання того чи іншого методу вимірювання в нанометровому діапазоні, в залежності від поставленої вимірювальної задачі і умов проведення експерименту та необхідної точності вимірювань.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни:
• Методи та засоби вимірювання неелектричних величин
• Первинні перетворювачі фізичних величин
• Електротехнічні матеріали
Короткий зміст навчальної програми:
Основні завдання нанометрії, нанометрології. Області використання.. Класифікація наноматеріалів. Особливості створення наноматеріалів, технології. Можливості використання оптичних перетворювачів для побудови сучасних засобів вимірювань неелектричних величин. Когерентність, інтерферометрія. Джерела оптичного випромінювання. Принцип роботи лазера. Принципи роботи сканувальних зондових мікроскопів. Кантилевери, Особливості і принципи будови. Актуатори на основі МЕМС і НЕМС (мікроелектромеханічні- і наноелектромеханічні сенсори).
Рекомендована література:
1. Вимірювання в нанотехнологіях: методи і засоби: навч. посібник / Гамула П.Р., Дацюк М.І., Крайовський В.Я., Луцик Я.Т., Микитин І.П., Ришковський О.П., Скоропад П.І., Стадник Б.І.. - Львів: Вид. Львівської політехніки, 2016. - 188 с.
2. Нанотехнологии. Азбука для всех. Под ред. Ю.Д.Третьякова., М., Физматлит, 2008.
3. Jaeger G. Laserinterferometrische Mess- und Sensortechnik.- Technische Universitaet Ilmenau.- 1999.
4. Schaumburg H. Sensoren,- B.G.Teubner, Stuttgart, 1992.
5. Hoffmann J. Taschenbuch der Messtechnik, Fachbuchverlag, Leipzig, 2000.
6. Meschede D. Optik, Licht und Laser,- B.G. Teubner / GWV Fachverlage Wiesbaden, 2005.
7. Поліщук Є.С., Дорожовець М.М., Стадник Б.І., Івахів О.В., Бойко Т.Г., Ковальчик А. Засоби та методи вимірювань неелектричних величин,- Львів, "Бескид Біт", 2008.
8. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии, 2004, Нижний Новгород
9. Electron Microscopy. Principles and Fundamentals. S. Amelinckx, D. van Dyck, J. van Landuyt, G. van Tendeloo., VCH, 1997.
10. Handbook of Microscopy for Nanotechnology. edited by Nan Yao. Zhong Lin Wang., KLUWER
ACADEMIC PUBLISHERS, 2005.
Методи і критерії оцінювання:
• курсова робота (100 %,): письмово-усна форма (100%)