Внаслідок вивчення навчальної дисципліни студент повинен бути здатним продемонструвати такі результати навчання:
• Розуміння фізико-хімічних основ мікро- і нанотехнологій: вакуумного осадження тонких шарів, газофазної і рідиннофазної епітаксії.
• Знання сучасних мікро- і нанотехнологій: молекулярно-променевої епітаксії і газофазної епітаксії з металоорганічних сполук і гідридів.
• Розуміння основ літографії і можливостей її використання для формування структур мікро- і наноелектроніки.
• Розуміння можливостей застосування сучасних технологічних методик для масового виробництва структур і пристроїв мікро- і наноелектроніки для потреб телекомунікацій і радіотехніки.
• Вміння усвідомлено вибирати оптимальні технологічні методики для формування мікро- і наноструктур різного функціонального призначення.
• Вміння прогнозувати результати технологічних процесів вирощування мікро- і наноструктур і можливостей їх використання в приладах і пристроях радіоелектроніки.
• Креативність, здатність до системного мислення.
• Вміння користуватися науковою літературою, яка присвячена проблемам навчальної дисципліни.
• Вміння самостійно аналізувати результати новітніх розробок і досягнень в області мікро- і нанотехнологій.
• Вміння самостійно робити висновки.

Пре-реквізити: Загальна фізика
Ко-реквізити: Відсутні

Викладаються фізико-хімічні засади мікро- і нанотехнологій: процеси випаровування і конденсації, фазові рівноваги між різними фізичними станами речовини, формування зародків нової фази і їх роль у процесах вирощування тонких плівок; сучасні технологічні методики формування тонких і квантово-розмірних плівок, масивів квантових ниток і квантових точок та перспективи їх практичного використання.

1. Д.М. Заячук, Низькорозмірні структури і надґратки. Львів, 2006.
2. Д.М. Заячук, Нанотехнології і наноструктури. Львів, 2009.
3. Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры. Под ред. Л. Ченга и К. Плога, М.: Мир, 1989.
4. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии. Уфимцев В.Б., Акчурин Р.Х. М.: Металлургия, 1983.
5. Наукова періодика.

Поточний контроль: Виступи на практичних заняттях, розв’язування задач.

Підсумковий контроль: Екзамен (письмова й усна компоненти).

Розподіл балів у 100-бальній шкалі:
Поточний контроль – 30 балів

Екзаменаційний контроль – 70 балів
З них: Письмова компонента – 50 балів
Усна компонента – 20 балів