Кафедра готує бакалаврів та магістрів за спеціальністю 153 «Мікро- та наносистемна техніка».
Спеціалізація бакалаврів: «Мікро- та наносистеми Інтернету речей».
Спеціалізації магістрів: «Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої», «Фізична та біомедична електроніка».
Крім базових курсів, вивчаються наступні дисципліни:
- «Твердотільна електроніка»;
- «Фізика напівпровідників та діелектриків»;
- «Кристалофізика»;
- «Електронні системи»;
- «Метрологія, стандартизація та сертифікація»;
- «Мікропроцесорна техніка»;
- «Мікросхемотехніка»;
- «Цифрова техніка»;
- «Функціональна електроніка»;
- «Наноструктури»;
- «Прилади на основі МОН стуктур в мікро-і наноелектроніці»;
- «Технологія зінтегрованих схем»;
- «Управління структурою і властивостями напівпровідникових матеріалів і приладів»;
- «Сучасні методи досліджень реальної структури матеріалів мікро-наносистемної техніки»;
- «Інженерне програмування»;
- «Основи мікро-та нанотехнологій»;
- «Програмне забезпечення досліджень в мікро- та наноелектроніці»;
- «Мікроелектронні засоби інформаційних технологій»;
- «Давачі на основі напівпровідникових мікро-та нанокристалів»;
- «МЕМС та НЕМС у пристроях мікро-та наносистемної техніки»;
- «Матеріали та елементи лазерних медичних систем та детекторів радіації»;
- «Фізичні основи магнітоелектроніки»;
- «Фізичні методи діагностики в медицині».