• знати принцип дії та влаштування відкачувального обладнання;
• знати методи вимірювання тисків розріджених газів;
• володіти методами течошукання у вакуумних системах.

пререквізити:
• вакуумна техніка та вакуумна технологія, частина 1;
• матеріалознавство;
• деталі машин.

Відкачувальне обладнання вакуумних систем. Класифікація вакуумних насосів. Основні параметри вакуумних насосів. Механічні обертові вакуумні насоси. Пластинчато-роторний насос. Пластинчато-статорний насос. Плунжерний насос. Робочі рідини для механічних насосів. Газобаластний насос. Двороторний вакуумний насос Рутса. Молекулярний насос. Турбомолекулярний насос. Пароструменеві насоси. Робочі рідини пароструменевих насосів. Ежектори. Бустерні насоси. Дифузійні насоси. Адсорбційні насоси. Випаровувальні геттерні насоси. Магнітні електророзрядні насоси. Насоси НЭМ, НОРД, ТРИОН. Вакуумні влвлювачі. Техніка вимірювання низьких тисків. Класифікація манометрів. Рідинні манометри. Компресійний манометр Мак-Леода. Деформаційні манометри. Теплові манометри. Електронні іонізаційні манометр. Магнітні електророзрядні манометри. Течошукання. Метод опресовування. Акустичний течошукач. Люмінесцентний метод. Манометричні методи. Галогенний течошукач. Мас-спектрометричний шукач. Конструкційні елементи вакуумних систем. Ущільнювальні елементи вакуумних систем. Вакуумна арматура. Основи вакуумної гігієни.

1. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. М., Мир, 1975
2. Кучеренко Е. Т. Физические основы вакуумной техники. Киев: Вища школа, 1978.
3. Шеремета Р.М. Техніка створення вакууму. Навчальний посібник. Вид-во НУ «ЛП», 2012. 188 с.

виконання курсової роботи.

• знати фізико-хімічні процеси, що відбуваються в розріджених газах;
• вміти розрахувати параметри газового середовища в залежності від ступеню вакууму;
• вміти розрахувати швидкодію вакуумного відкачного обладнання та швид-кість відкачування вакуумного об’єкту.

пререквізити:
• фізика;
• матеріалознавство;
• деталі машин.

Закони газового стану. Ізотермічний, ізобаричний та ізохоричний процеси. Закон Авогадро. Об’єднаний закон Клапейрона-Менделєєва. Основні положення кінетичної теорії газів. Закон Дальтона. Тиск насиченої пари речовин. Тиск з точки зору кінетичної теорії газів. Розподіл числа молекул газу за швидкостями теплового руху. Число молекул що вдаряються в одиницю поверхні посудини за одиницю часу. Напрям швидкостей руху молекул після зіткнення зі стінкою посудини. Довжина вільного перебігу молекул газу. Явища переносу в газах. Самодифузія. Термодифузія газів. Теплопровідність газів. Внутрішнє тертя газів. Динамічна в’язкість газів. Режими перетікання газів. В’язкістний режим. Молекулярний режим. Молекулярно-в’язкістний режим. Взаємодія газів з твердими тілами. Фізична адсорбція. Хімічна адсорбція. Абсорбція. Утворення твердого розчину. Абсорбція шляхом хімічної реакції. Дифузія газів в твердих тілах і проникність матеріалів. Явище десорбції. Фізико-хімічні процеси газовиділення. Теоретичні основи процесу відкачування. Швидкість відкачування і швидкодія насосу. Опір і провідність вакуумного трубопроводу. Основне рівняння вакуумної техніки.

1. Пипко А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Оборудование для откачки вакуумных приборов. М., Энергия, 1985.
2. Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. М., Энерния, 1972. 456 с.
3. Вакуумная техника: Справочник/Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др. М.: Машиностроение, 1985. 360 с.

• письмові звіти з лабораторних робіт, виконання практичних завдань, усне опитування (30%)
• підсумковий контроль (70 %, контрольний захід, екзамен): письмово-усна форма (70%).