• знати особливості застосування засобів мікро- та наносистемної техніки;
• знати особливості мікро- та нанорозмірних пристроїв мехатроніки;
• знати фізичні принципи роботи засобів мікросистемної техніки, особливості їх застосування;
• вміти практично використовувати засоби проектування та дослідження мікросистемних пристроїв для вирішення конкретних прикладних задач.

пререквізити:

• Фізика,
• Основи метрології та вимірювальної техніки,
• Методи та засоби вимірювань електричних величин,
• Основи мехатроніки,

кореквізити:

• Основи керування мехатронними системами,
• Уніфікуючі перетворювальні пристрої мехатроніки,
• Основи проектування механізмів мехатронних засобів.

Огляд мікросистемної техніки мехатронного застосування. Мікро механічні компоненти мікросистемної техніки, їх властивості. Мікросистемні засоби інформаційного забезпечення мехатронних систем. Ємнісні, тензорезистивні, електромеханічні, теплові, фотонні, піроелектричні мікросенсори. Виконавчі механізми інтегрального виконання. Гідравлічні, пневматичні, електростатичні, електромагнітні, п’єзоелектричні, теплові мікроактиватори. Акселерометри та гіроскопи мікро системного виконання. Поєднання на одному кристалі аналогово-цифрового перетворення, мікропроцесорного опрацювання та передавання даних.

1. Є.С. Поліщук, М.М.Дорожовець, Б.І.Стадник, О.В.Івахів, Т.Г.Бойко, А.Ковальчик: Засоби та методи вимірювань неелектричних величин. Підручник /За ред. проф. Є.С.Поліщука – Львів: Видавництво «Бескид Біт», 2008, - 618 с, табл. 64.
2. М.Д.Гераїмчук, О.В.Івахів, М.І.Паламар, Б.М.Шевчук. Основи побудови перспективних бездротових сенсорних мереж. Монографія – Київ: ЕКМО, 2010, 124 с.
3. Ванько В.М., Поліщук Є.С., Дорожовець М.М., Яцук В.О., Яцук Ю.В. Вимірювальні перетворювачі (сенсори) – Львів: Видавництво «Львівська політехніка», 2015. – 580 с.

• письмові звіти з практичних робіт, усне опитування (30%),
• підсумковий контроль (контрольний захід, іспит): письмово-усна форма (70%).