• знати фізико-хімічні процеси, що відбуваються в розріджених газах;
• вміти розрахувати параметри газового середовища в залежності від ступеню вакууму;
• вміти розрахувати швидкодію вакуумного відкачного обладнання та швид-кість відкачування вакуумного об’єкту.

пререквізити:
• фізика;
• матеріалознавство;
• деталі машин.

Закони газового стану. Ізотермічний, ізобаричний та ізохоричний процеси. Закон Авогадро. Об’єднаний закон Клапейрона-Менделєєва. Основні положення кінетичної теорії газів. Закон Дальтона. Тиск насиченої пари речовин. Тиск з точки зору кінетичної теорії газів. Розподіл числа молекул газу за швидкостями теплового руху. Число молекул що вдаряються в одиницю поверхні посудини за одиницю часу. Напрям швидкостей руху молекул після зіткнення зі стінкою посудини. Довжина вільного перебігу молекул газу. Явища переносу в газах. Самодифузія. Термодифузія газів. Теплопровідність газів. Внутрішнє тертя газів. Динамічна в’язкість газів. Режими перетікання газів. В’язкістний режим. Молекулярний режим. Молекулярно-в’язкістний режим. Взаємодія газів з твердими тілами. Фізична адсорбція. Хімічна адсорбція. Абсорбція. Утворення твердого розчину. Абсорбція шляхом хімічної реакції. Дифузія газів в твердих тілах і проникність матеріалів. Явище десорбції. Фізико-хімічні процеси газовиділення. Теоретичні основи процесу відкачування. Швидкість відкачування і швидкодія насосу. Опір і провідність вакуумного трубопроводу. Основне рівняння вакуумної техніки.

1. Пипко А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Оборудование для откачки вакуумных приборов. М., Энергия, 1985.
2. Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. М., Энерния, 1972. 456 с.
3. Вакуумная техника: Справочник/Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др. М.: Машиностроение, 1985. 360 с.

• письмові звіти з лабораторних робіт, виконання практичних завдань, усне опитування (30%)
• підсумковий контроль (70 %, контрольний захід, екзамен): письмово-усна форма (70%).