• знати принцип дії та влаштування відкачувального обладнання;
• знати методи вимірювання тисків розріджених газів;
• володіти методами течошукання у вакуумних системах.

пререквізити:
• вакуумна техніка та вакуумна технологія, частина 1;
• матеріалознавство;
• деталі машин.

Відкачувальне обладнання вакуумних систем. Класифікація вакуумних насосів. Основні параметри вакуумних насосів. Механічні обертові вакуумні насоси. Пластинчато-роторний насос. Пластинчато-статорний насос. Плунжерний насос. Робочі рідини для механічних насосів. Газобаластний насос. Двороторний вакуумний насос Рутса. Молекулярний насос. Турбомолекулярний насос. Пароструменеві насоси. Робочі рідини пароструменевих насосів. Ежектори. Бустерні насоси. Дифузійні насоси. Адсорбційні насоси. Випаровувальні геттерні насоси. Магнітні електророзрядні насоси. Насоси НЭМ, НОРД, ТРИОН. Вакуумні влвлювачі. Техніка вимірювання низьких тисків. Класифікація манометрів. Рідинні манометри. Компресійний манометр Мак-Леода. Деформаційні манометри. Теплові манометри. Електронні іонізаційні манометр. Магнітні електророзрядні манометри. Течошукання. Метод опресовування. Акустичний течошукач. Люмінесцентний метод. Манометричні методи. Галогенний течошукач. Мас-спектрометричний шукач. Конструкційні елементи вакуумних систем. Ущільнювальні елементи вакуумних систем. Вакуумна арматура. Основи вакуумної гігієни.

1. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. М., Мир, 1975
2. Кучеренко Е. Т. Физические основы вакуумной техники. Киев: Вища школа, 1978.
3. Шеремета Р.М. Техніка створення вакууму. Навчальний посібник. Вид-во НУ «ЛП», 2012. 188 с.

• письмові звіти з лабораторних робіт, виконання практичних завдань, усне опитування (30%)
• підсумковий контроль (70 %, контрольний захід, екзамен): письмово-усна форма (70%).