Ви переглядаєте архівну версію офіційного сайту НУЛП (2005-2020р.р.). Актуальна версія: https://lpnu.ua
Обладнання електронної промисловості
Спеціальність: Галузеве машинобудування
Код дисципліни: 6.133.02.E.103
Кількість кредитів: 3
Кафедра: Проектування та експлуатація машин
Лектор: д.т.н., професор Стоцько Зіновій Антонович
Семестр: 6 семестр
Форма навчання: денна
Результати навчання:
- знати принципи побудови і особливості функціонування обладнання електронної промисловості;
- знати функціональне призначення технологічного обладнання;
- вміти будувати кінематичні схеми технологічного обладнання електронної промисловості;
- вміти проводити вибір обладнання для забезпечення технологічних процесів виробництва електронної техніки.
- знати функціональне призначення технологічного обладнання;
- вміти будувати кінематичні схеми технологічного обладнання електронної промисловості;
- вміти проводити вибір обладнання для забезпечення технологічних процесів виробництва електронної техніки.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни:
Електротехніка;
Методи моделювання систем і процесів;
Основи автоматизованого проектування;
Технологія виробництва виробів електронної техніки.
Методи моделювання систем і процесів;
Основи автоматизованого проектування;
Технологія виробництва виробів електронної техніки.
Короткий зміст навчальної програми:
Технологічні машини електронного виробництва. Їх класифікація. Технологічне обладнання обробки матеріалів тиском. Обладнання для виготовлення спіральних підігрівачів. Обладнання виготовлення сіток електронних приладів. Обладнання для термічних операцій. Конструкції печей: конвеєрних, трубчастих, карусельних. Обладнання для обробки напівпровідникових матеріалів. Устаткування для отримання структур інтегральних мікросхем. Обладнання для фотолітографії. Огляд новітніх розробок обладнання.
Рекомендована література:
1. Воронин В.И. Типичные узлы и механизмы електронного машиностроения: учеб. пособие/ В.И. Воронин, Г.В. Конюшков, С.М. Лисовский. - Саратов: Сарат. гос. техн. Ун-т., 2006. - 80 с.
2. Блинов И.Г. Оборудование полупроводникового производства. - М., Машиностроение, 1986. - 264 с.
3. Яфаров Р.К. Нанотехнологическое СВЧ вакуумно-плазменное оборудование// Нанотехника - 2006. № 4., с. 73-78.
2. Блинов И.Г. Оборудование полупроводникового производства. - М., Машиностроение, 1986. - 264 с.
3. Яфаров Р.К. Нанотехнологическое СВЧ вакуумно-плазменное оборудование// Нанотехника - 2006. № 4., с. 73-78.
Методи і критерії оцінювання:
• письмові звіти по індивідуальних завданнях, усне опитування, контрольна робота
• підсумковий контроль (50 %, контрольний захід, залік): письмово-усна форма (50 %)
• підсумковий контроль (50 %, контрольний захід, залік): письмово-усна форма (50 %)